液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)是當(dāng)前社會(huì)中應(yīng)用非常多的顯示器，在日常生活中隨處可見(jiàn)。LCD主要由彩色濾光片基板(Color filter，CF)、TFT陣列(TFT Array) 基板和背光模塊(Back light unit)三大部分所組成。

TFT LCD面板結(jié)構(gòu)

（圖片來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)）

在這三大組成部分里面，背光模塊對(duì)LCD非常重要，因?yàn)楸彻赓|(zhì)量決定了液晶顯示屏的亮度、出射光均勻度、色階等重要參數(shù)，決定了液晶顯示器的發(fā)光效果。在背光模塊中有一層非常重要的光學(xué)薄膜--增亮膜(Brightness Enhancement Film，BEF)。在增亮膜誕生之前，液晶面板的光源利用率非常低。增量膜又叫棱鏡片(Prism Sheet)，起源于上世紀(jì)九十年代，早期由美國(guó)3M公司開發(fā)，他們的技術(shù)人員將棱鏡導(dǎo)管技術(shù)應(yīng)用到LCD領(lǐng)域。增量膜是在PET表面利用微復(fù)技術(shù)和薄膜技術(shù)形成棱鏡結(jié)構(gòu)，利用棱鏡片改變?nèi)肷涔獾墓饴?，使光的出射范圍更加集中而被LCD更有效的利用，因此可有效提升照明亮度、均勻度及影像對(duì)比度，并間接改善背光模塊的耗電性能。

增量膜的制備工藝

（圖片來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)）

增量膜的成型過(guò)程主要分為涂膜、成型固化兩個(gè)步驟：PET基材向前移動(dòng)，涂布機(jī)將紫外固化膠均勻覆蓋在PET基材表面，然后帶有微棱鏡結(jié)構(gòu)的輥筒在涂敷層上成型，同時(shí)紫外燈固化在PET基材表面形成微結(jié)構(gòu)、并固化于膜的表面。

今天我們聊聊臺(tái)式掃描電子顯微鏡在LCD背光模塊增量膜表征中的應(yīng)用。

3M增量膜表面棱形微觀結(jié)構(gòu)的SEM觀察

（BSE&SE 混合像 BSE占60%,SE占40%）

3M增量膜表面形貌結(jié)構(gòu)的局部放大圖像

（BSE，SE各占50%）

3M增量膜表面微觀結(jié)構(gòu)的SEM觀察， BSE圖像

增量膜截面形貌特征的SEM表征

增量膜截面的EDS面掃描分布圖像

增量膜截面樣棱形結(jié)構(gòu)局部區(qū)域的EDS譜圖采集

增量膜截面微區(qū)的EDS線掃描表征

我們?cè)?M增量膜截面棱形結(jié)構(gòu)區(qū)域采集了EDS譜圖，發(fā)現(xiàn)Zr元素的含量較高，在襯底中C元素的含量較高，并且C元素含量并非均一分布。利用EDS線掃的功能可以非常直接的觀察到材料中所含化學(xué)元素分布的變化。

綜上：搭配EDS能譜儀的臺(tái)式掃描電子顯微鏡對(duì)增量膜（棱鏡膜）的微觀結(jié)構(gòu)觀察和成分分析十分有幫助。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡