在目前微觀形貌的分析研究中，隨著半導(dǎo)體器件等高新技術(shù)的發(fā)展，往往要求對(duì)表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)能夠更深入地觀察和了解，因此發(fā)展高分辨力的電鏡一直是生產(chǎn)廠商和用戶(hù)們所追求的共同目標(biāo)。要獲得一張清晰、高分辨的照片，不僅要有一臺(tái)性能優(yōu)越的高分辨力掃描電子顯微鏡，而且還取決于試樣自身的特征和操作人員的工作經(jīng)驗(yàn)，即要考慮以下幾種因素：（1...
MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-27
二次電子是相對(duì)于入射電子的一種提法。它是指被高能入射（也稱(chēng)為一次或初次）電子束轟擊出來(lái)的試樣中的核外電子。由于原子核和外層價(jià)電子間的結(jié)合能很小，當(dāng)原子的核外電子從入射電子那里獲得大于相應(yīng)的結(jié)合能后，就可脫離原子核的約束而成為自由電子。如果這種脫離過(guò)程發(fā)生在試樣表面和亞表面層，那么這些能量大于材料逸出功的電子就可以從試樣...
MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-25
當(dāng)掃描電鏡的電子束轟擊試樣表面時(shí)，電子束會(huì)進(jìn)入試樣內(nèi)部，產(chǎn)生散射現(xiàn)象，電子束在散射后會(huì)改變前進(jìn)方向，而且還會(huì)損失部分能量，隨之而來(lái)產(chǎn)生各種其他信息，如熱、俄歇電子、X射線、可見(jiàn)光、二次電子、背散射電子等。當(dāng)入射電子與試樣相互作用后，其中有一部分電子會(huì)返回表面逸出，則這部分被返回表面逸出的原入射電子被稱(chēng)為背散射電子。在實(shí)...
MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-25
臺(tái)式掃描電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)組成。 電子光學(xué)系統(tǒng)：電子光學(xué)系統(tǒng)由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來(lái)獲得掃描電子束，作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)的激發(fā)源。 電子槍?zhuān)浩渥饔檬抢藐帢O與陽(yáng)極燈絲間的高壓產(chǎn)生高能量的電子束。 電磁透鏡：其作用是把電子槍的束斑...
MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-24
掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。 原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互...
MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-24
桌面型掃描電鏡的掃描速度快，信號(hào)采集帶寬10M，可以在視頻模式下流暢實(shí)時(shí)的顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作，不需對(duì)中光闌等復(fù)雜步驟，聚焦消像散后可直接拍圖。 桌面型掃描電鏡的結(jié)構(gòu)組成： 區(qū)別于傳統(tǒng)掃描電鏡的笨重機(jī)身，ZEM15主機(jī)成高壓及控制系統(tǒng)，體積小巧，便于移動(dòng)，安裝無(wú)需特殊環(huán)境，只需找一張桌子，...
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掃描電鏡能譜一體機(jī)是光學(xué)表征儀器產(chǎn)品的全明星，用戶(hù)通過(guò)一臺(tái)設(shè)備就可以實(shí)現(xiàn)形貌表征及元素分析功能。研究樣品時(shí)，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問(wèn)題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。 掃描電鏡能譜一體機(jī)內(nèi)部集成了用于分析樣品元素組分的能譜儀。對(duì)于很多既需要觀察表面形貌又要檢測(cè)表面元素組分分布的用戶(hù)非常適用，...
MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-24
掃描電鏡帶能譜是一種體積小巧，可安放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上操作的臺(tái)式電子顯微鏡。它的電子光學(xué)系統(tǒng)、探測(cè)器、電路控制系統(tǒng)、信號(hào)采集系統(tǒng)和操作軟件均為自主研制。獨(dú)立研發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，使拍攝圖片具有更高的信噪比和對(duì)比度。配合很高的信號(hào)采集帶寬，可以在視頻幀率下高質(zhì)量的流暢顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作，無(wú)需光闌對(duì)中等復(fù)雜步驟...
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