正確操作掃描電鏡的聚焦和對準功能是獲得清晰圖像的關鍵。下面是一些操作步驟和注意事項：

聚焦功能：

（1）確保電子束發(fā)射源（例如熱陰極或場發(fā)射陰極）處于正常工作狀態(tài)。

（2）啟動掃描電鏡并預熱一段時間，以使設備達到穩(wěn)定工作狀態(tài)。

（3）調(diào)節(jié)聚焦控制器，使電子束的焦點盡可能小且集中。通常，聚焦控制器是一個旋鈕或按鈕，根據(jù)設備型號可能有不同的標識和操作方式。

（4）使用樣品中的明顯特征（如顆?；蜻吘墸┳鳛閰⒖?，逐漸調(diào)節(jié)聚焦控制器，直到獲得清晰的圖像。

對準功能：

（1）確保掃描電鏡的對準系統(tǒng)已經(jīng)校準并處于工作狀態(tài)。

（2）確定要對準的特定區(qū)域或特征，并將其置于視野中心。

（3）使用對準控制器進行微調(diào)，移動樣品臺或激光束（如果設備配備了激光對準系統(tǒng)），以使特征在視野中居中。

（4）根據(jù)需要進行水平和垂直方向上的對準調(diào)整，確保樣品與電子束的準確對準。

注意事項：

（1）在進行聚焦和對準操作之前，確保樣品已經(jīng)適當安裝并固定在樣品臺上，并且樣品臺水平調(diào)平。

（2）遵循設備制造商的操作手冊和建議，因為不同的掃描電鏡可能具有不同的控制器和對準方式。

（3）小心操作控制器，進行微調(diào)時逐步進行，避免過度調(diào)整造成過度聚焦或?qū)什粶蚀_。

（4）注意保持環(huán)境的穩(wěn)定性，如避免振動或溫度變化，以確保對準的穩(wěn)定性和準確性。

ZEM18臺式掃描電鏡

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