掃描電鏡（SEM）是一種高分辨率顯微鏡，它使用電子束而不是光束來照射樣品，并通過收集從樣品表面反射、散射或發(fā)射的電子來生成圖像。以下是掃描電鏡的工作原理的簡(jiǎn)要描述：

電子束發(fā)射：SEM通過電子槍產(chǎn)生高能電子束。電子槍通常由熱陰極和加速電極組成。熱陰極加熱產(chǎn)生的熱電子被加速電極加速，形成高能電子束。

高真空環(huán)境：樣品室被保持在高真空狀態(tài)，以避免電子束與氣體分子相互作用。高真空有助于保持電子束的穩(wěn)定性，并減少電子與空氣分子的相互散射。

樣品照射：高能電子束經(jīng)過調(diào)制和聚焦后，照射到樣品表面。電子束的高能量使得它可以穿透樣品表面的較淺層，與樣品發(fā)生相互作用。

信號(hào)收集：當(dāng)電子束與樣品相互作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生多種信號(hào)。常見的信號(hào)包括：次級(jí)電子（SE）、反射電子（BSE）以及特殊的信號(hào)檢測(cè)器如能量散射譜儀（EDS）和電子背散射衍射儀（EBSD）。

信號(hào)檢測(cè)和圖像生成：SEM使用探測(cè)器收集和測(cè)量由樣品表面發(fā)出的不同信號(hào)。這些信號(hào)被轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，并通過信號(hào)處理和放大后轉(zhuǎn)換為圖像。

圖像顯示和分析：通過電子束的掃描和信號(hào)的檢測(cè)，SEM生成高分辨率的表面圖像。這些圖像可以在顯示屏上進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察和分析，以獲取樣品的形貌、結(jié)構(gòu)和成分信息。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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