掃描電鏡（SEM）通過(guò)以下步驟生成樣品的表面形貌圖像：

樣品制備： 首先，需要將樣品制備成適合在SEM中觀察的形態(tài)。樣品應(yīng)該是堅(jiān)硬、平整、干凈的，并且可能需要進(jìn)行導(dǎo)電涂層以減少電荷積累效應(yīng)。

真空系統(tǒng)準(zhǔn)備： SEM操作需要在高真空環(huán)境中進(jìn)行，以避免電子束與氣體相互作用。因此，需要啟動(dòng)真空泵以將SEM系統(tǒng)的壓力降低到適當(dāng)?shù)恼婵占?jí)別。

樣品安裝： 將樣品安裝在SEM的樣品臺(tái)上。樣品臺(tái)通常具有可調(diào)節(jié)的XY臺(tái)移動(dòng)功能，以便將樣品表面映射到電子束的掃描區(qū)域。

電子束準(zhǔn)備： 啟動(dòng)電子束并設(shè)置適當(dāng)?shù)碾娮邮鴧?shù)，如加速電壓、聚焦、亮度等。這些參數(shù)將影響電子束的性質(zhì)和聚焦效果。

掃描和成像： 將電子束掃描在樣品表面上。在掃描過(guò)程中，電子束與樣品表面的不同區(qū)域相互作用，產(chǎn)生次級(jí)電子（SE）和反向散射電子（BSE）等信號(hào)。這些信號(hào)會(huì)被探測(cè)器捕獲。

信號(hào)采集和處理： 探測(cè)器捕獲次級(jí)電子和反向散射電子等信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。這些信號(hào)被處理并送入圖像顯示系統(tǒng)，形成黑白圖像或灰度圖像。

圖像顯示和獲?。?處理后的信號(hào)被送入圖像顯示器，顯示出樣品表面的圖像。圖像可以是灰度圖像，其中不同灰度值對(duì)應(yīng)于樣品表面的不同高度或特性。

圖像分析： 獲取的圖像可以通過(guò)圖像分析軟件進(jìn)行進(jìn)一步處理和分析?？梢赃M(jìn)行像素分析、輪廓提取、粒徑分析、形貌分析等操作，以獲取關(guān)于樣品表面形貌和特性的更多信息。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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