掃描電子顯微鏡（SEM）中的探針電流是指掃描電子束照射到樣本表面時，每單位時間內(nèi)被樣本表面吸收或散射的電子數(shù)量。探針電流的大小與樣本表面的電子云密度、形態(tài)結(jié)構(gòu)以及電子束的強度等因素有關(guān)。

控制探針電流在SEM中是非常重要的，原因如下：

樣本損傷： 過高的探針電流可能導(dǎo)致樣本表面的電子云被過多地移除，從而造成表面損傷，甚至導(dǎo)致樣本的破壞。這在一些敏感的樣本或者有機材料中特別重要。

圖像質(zhì)量： 探針電流的大小會直接影響SEM圖像的質(zhì)量。過高的探針電流可能導(dǎo)致圖像過度曝光，失去細(xì)節(jié)并且產(chǎn)生強烈的反射。相反，適當(dāng)控制的低探針電流可以獲得更清晰的圖像，減少噪聲和失真。

充電效應(yīng)： 在一些非導(dǎo)電的樣本上，高電流的電子束可能導(dǎo)致樣本表面的電荷累積，從而引起圖像失真或者偽影。適當(dāng)?shù)奶结橂娏骺梢詼p輕這種充電效應(yīng)。

電子束的影響區(qū)域： 控制探針電流可以控制電子束在樣本表面的影響區(qū)域大小。較小的影響區(qū)域有助于獲得更高的圖像分辨率。

樣本保護： 控制探針電流可以延長樣本的壽命，減少在掃描過程中的樣本破壞，從而使SEM的使用更經(jīng)濟有效。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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