掃描電鏡二次電子成像通常具有較淺的深度焦點(diǎn)，這意味著它對樣品表面上的微小結(jié)構(gòu)和拓?fù)涮卣骶哂休^好的分辨率，但不適用于深度信息的獲取。這個(gè)深度焦點(diǎn)是由于以下幾個(gè)原因：

次級電子的產(chǎn)生機(jī)制： 在SEM中，二次電子主要是由高能電子束與樣品表面相互作用產(chǎn)生的。這些次級電子是從樣品表面相對較淺的區(qū)域產(chǎn)生的，通常只有幾納米到數(shù)十納米的深度。因此，SEM的深度焦點(diǎn)主要位于樣品表面附近。

電子束的聚焦： SEM中使用的電子槍和透鏡系統(tǒng)是為了將電子束聚焦到樣品表面附近，以獲得高分辨率的表面成像。這意味著電子束的焦點(diǎn)是在樣品表面，而不是在樣品內(nèi)部。

樣品導(dǎo)電性： SEM對于導(dǎo)電性樣品的成像效果更好，因?yàn)閷?dǎo)電性樣品可以更有效地導(dǎo)出次級電子。非導(dǎo)電性樣品可能需要額外的處理，如金屬涂層，以獲得清晰的成像。

雖然SEM的深度焦點(diǎn)通常較淺，但可以通過調(diào)整電子束的能量、樣品的傾斜角度或使用其他成像模式（例如背散射電子成像）來增加深度焦點(diǎn)。

ZEM18臺式掃描電鏡

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