低掃描速度和高掃描速度在樣本成像中有不同的影響和應(yīng)用：

低掃描速度：

高分辨率：低掃描速度通常用于獲得高分辨率的圖像。通過(guò)減慢掃描速度，電子束在每個(gè)像素位置停留更長(zhǎng)的時(shí)間，提供更多的信號(hào)采集，從而產(chǎn)生更精細(xì)的圖像。

圖像質(zhì)量：低掃描速度通常產(chǎn)生更高質(zhì)量的圖像，對(duì)于需要詳細(xì)觀察微觀結(jié)構(gòu)和表面拓?fù)涞膽?yīng)用非常有用。

增強(qiáng)信噪比：低掃描速度有助于增加信噪比，使樣品上微弱信號(hào)更容易被檢測(cè)到。

顯著的成本：然而，低掃描速度會(huì)導(dǎo)致成像時(shí)間較長(zhǎng)，這可能是一個(gè)不利因素，特別是對(duì)于需要大量數(shù)據(jù)的研究。

高掃描速度：

快速成像：高掃描速度適用于需要快速獲取樣品概覽或表面形貌信息的應(yīng)用。它可以顯著減少成像時(shí)間。

低分辨率：高掃描速度通常以犧牲分辨率為代價(jià)，因?yàn)殡娮邮诿總€(gè)像素位置的停留時(shí)間較短，導(dǎo)致信號(hào)采集較少。

初步檢查：高掃描速度可用于對(duì)樣品進(jìn)行初步檢查，然后在需要時(shí)轉(zhuǎn)換到低掃描速度以獲得更詳細(xì)的圖像。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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