在掃描電鏡成像中怎樣減少或校正樣品表面的充電效應(yīng)
日期：2023-11-13
在掃描電鏡（SEM）成像中，樣品表面的充電效應(yīng)可能導(dǎo)致圖像的失真和噪音。以下是一些減少或校正樣品表面充電效應(yīng)的常見方法：
導(dǎo)電涂層： 在樣品表面涂覆導(dǎo)電性良好的薄層是常見的減少充電效應(yīng)的方法。常見的導(dǎo)電涂層材料包括金屬（如金或鉑）或?qū)щ娞?。這種涂層有助于在樣品表面形成導(dǎo)電路徑，減少表面電荷的積累。
金屬導(dǎo)電膠： 使用金屬導(dǎo)電膠連接樣品和支撐基底，以確保電荷可以流動(dòng)。這種方法適用于一些不適合涂覆導(dǎo)電薄層的樣品。
樣品處理： 有時(shí)，通過(guò)在真空中或惰性氣氛中處理樣品，可以減少樣品表面的氧化和電荷積累。這種方法要求使用者在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中謹(jǐn)慎操作，以避免樣品受到污染。
低電子能量： 使用低電子能量進(jìn)行成像可以減少電子束與樣品之間的相互作用，從而減少表面充電效應(yīng)的影響。然而，這可能會(huì)降低圖像的分辨率。
場(chǎng)發(fā)射電鏡： 堆積電荷問(wèn)題在場(chǎng)發(fā)射電鏡中較少，因?yàn)樗褂玫氖菆?chǎng)發(fā)射電子而不是落在樣品表面的電子束。
電子束抑制器： 一些先進(jìn)的掃描電鏡設(shè)備配備了電子束抑制器，可以通過(guò)向樣品表面施加反電場(chǎng)來(lái)抑制電子束的影響，減輕充電效應(yīng)。
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作者：澤攸科技