掃描電鏡（SEM）成像中的光束偽影問題可能是由于樣品本身或儀器參數(shù)等因素引起的。以下是解決這一問題的一些常見方法：

樣品制備： 在對(duì)樣品進(jìn)行制備時(shí)，盡量避免使用具有高反射性或高吸收性的材料。選擇合適的樣品支撐材料或涂層，以減少樣品與電子束的相互作用。

電子束參數(shù)調(diào)節(jié)： 調(diào)節(jié)SEM的電子束參數(shù)，包括電子束能量、電流、聚焦和對(duì)比度等，以減少光束偽影。通常來說，降低電子束能量和增加對(duì)比度可以減少偽影的出現(xiàn)。

樣品傾斜： 將樣品輕微傾斜，以改變電子束與樣品表面的入射角度，減少反射和散射現(xiàn)象，從而減少偽影的產(chǎn)生。

適當(dāng)?shù)臋z測(cè)器選擇： 選擇適當(dāng)?shù)臋z測(cè)器來優(yōu)化成像信號(hào)。例如，選擇逆向散射電子（BSE）檢測(cè)器可以減少來自樣品表面的反射電子造成的偽影。

樣品金屬化： 對(duì)樣品進(jìn)行金屬化處理，例如使用金屬蒸鍍或?yàn)R射，以增加樣品表面的導(dǎo)電性，減少反射和光束偽影。

實(shí)時(shí)監(jiān)控和調(diào)整： 在進(jìn)行成像過程中，實(shí)時(shí)監(jiān)控SEM圖像，并根據(jù)需要調(diào)整電子束參數(shù)和樣品位置，以減少光束偽影的影響。

數(shù)據(jù)處理： 在獲取SEM圖像后，可以使用圖像處理軟件對(duì)圖像進(jìn)行后期處理，如去除偽影、增強(qiáng)對(duì)比度等，以提高圖像質(zhì)量并減少偽影的影響。

綜合利用以上方法，可以有效地減少或解決掃描電鏡成像中的光束偽影問題，從而獲得更準(zhǔn)確和清晰的成像結(jié)果。

以上就是澤攸科技小編分享的如何解決掃描電鏡成像中的光束偽影問題。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢