掃描電鏡（SEM）主要檢測的是與樣品表面交互作用后產(chǎn)生的不同信號。這些信號包括：

次級電子（SE）信號：這是SEM中常用的信號之一。當(dāng)高能電子束照射樣品表面時，部分電子會被激發(fā)出來，形成次級電子信號。這些電子的能量通常較低，對樣品表面的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)和表面特性具有很高的表面靈敏度。

反射電子（BSE）信號：反射電子是在與樣品原子核的相互作用后被反射回來的電子。這些電子的能量通常較高，提供了有關(guān)樣品成分和結(jié)構(gòu)的信息。BSE信號對于獲取有關(guān)樣品的化學(xué)成分和晶體結(jié)構(gòu)的信息非常有用。

X射線信號：當(dāng)高能電子束與樣品表面相互作用時，會激發(fā)出X射線。這些X射線的能量與樣品中的原子核的成分有關(guān)。通過分析這些X射線的能譜，可以確定樣品的化學(xué)成分。

熒光信號：當(dāng)樣品表面受到電子束照射時，可能會產(chǎn)生熒光，這些熒光信號可以提供有關(guān)樣品成分和表面特性的信息。

這些信號的檢測和分析可以為對樣品的成分、結(jié)構(gòu)和表面特性提供詳細(xì)的信息，使得SEM成為了材料科學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用的強(qiáng)大工具。

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