掃描電鏡（SEM）工作時鏡筒內(nèi)的真空度是確保電子束正常傳輸和樣品表面電子散射檢測的重要因素。通常，SEM的鏡筒內(nèi)需要維持高真空，以避免電子束與空氣分子碰撞，導(dǎo)致電子束散射和能量損失。

一般真空度要求

高真空SEM

在高真空SEM中，鏡筒內(nèi)的真空度通常在以下范圍：

10^-5 至 10^-7 托 (Torr)

這種高真空度可以減少電子束在空氣中的散射，從而提高圖像分辨率和信噪比。這種環(huán)境適用于大多數(shù)常見的SEM應(yīng)用，如材料科學(xué)、納米技術(shù)和生物樣品的高分辨率成像。

低真空SEM（環(huán)境掃描電鏡，ESEM）

低真空SEM或環(huán)境掃描電鏡（ESEM）允許在較低的真空度下操作，通常在以下范圍：

1 至 10^-3 托 (Torr)

低真空模式適用于非導(dǎo)電樣品和含水樣品的觀察，因為可以在樣品表面保留一層水蒸氣，避免樣品表面電荷積累和損傷。ESEM可以在環(huán)境條件下觀察濕潤、油脂和其他非導(dǎo)電樣品。

真空度的重要性

電子束的穩(wěn)定性：高真空度可以減少空氣分子對電子束的散射，確保電子束穩(wěn)定和集中，從而獲得高質(zhì)量的圖像。

樣品保護：高真空環(huán)境可以防止樣品表面被氧化或污染，尤其是對于敏感材料而言。

設(shè)備保護：維持高真空可以減少污染物在鏡筒內(nèi)的沉積，延長設(shè)備的使用壽命和性能穩(wěn)定性。

真空系統(tǒng)的組成

SEM的真空系統(tǒng)通常由以下部分組成：

粗抽泵：如旋片泵或干泵，用于初步抽空，使真空度達到10^-2 至 10^-3 托。

高真空泵：如渦輪分子泵、離子泵或擴散泵，用于進一步提高真空度，使其達到10^-5 托或更高。

真空計：監(jiān)測和顯示鏡筒內(nèi)的真空度，確保系統(tǒng)維持在合適的真空范圍。

維護真空系統(tǒng)

為了保持SEM的正常運行和高質(zhì)量圖像，需定期維護真空系統(tǒng)：

檢查和更換泵油（對于旋片泵和擴散泵）。

定期校準(zhǔn)和清潔真空計。

檢查和更換密封圈，確保系統(tǒng)的密封性。

定期檢漏，檢測和修復(fù)可能的泄漏點。

總結(jié)

在SEM操作中，鏡筒內(nèi)的真空度是確保電子束穩(wěn)定性和圖像質(zhì)量的關(guān)鍵因素。高真空度通常在10^-5 至 10^-7 托，而低真空或環(huán)境掃描電鏡則在1 至 10^-3 托。通過維護和管理真空系統(tǒng)，可以確保SEM的正常運行和高質(zhì)量的成像結(jié)果。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡工作時鏡筒內(nèi)的一般真空度要求。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢