掃描電鏡（SEM）圖像在放大后出現(xiàn)模糊，是較常見的問題，影響微納米結(jié)構(gòu)觀察的清晰度與分辨率。出現(xiàn)模糊的原因可能來自多個方面，以下是常見原因及對策：

常見原因與應(yīng)對策略

1. 沒有準(zhǔn)確對焦

表現(xiàn)：圖像整體模糊，邊緣無清晰輪廓。

解決方法：

重新使用焦距（focus）和工作距離（WD）進(jìn)行精細(xì)調(diào)焦；

建議在低倍率對焦，然后逐步放大并繼續(xù)微調(diào)；

可啟用“行掃描”或“慢掃描”模式提高對焦準(zhǔn)確性。

2. 樣品未固定牢靠或漂移

表現(xiàn)：圖像邊緣模糊拖影，焦點對不上。

解決方法：

檢查樣品是否牢固貼在樣品臺上；

使用導(dǎo)電膠或碳膠加固樣品；

避免在高倍率下使用移動不穩(wěn)定的樣品區(qū)域。

3. 電子束未聚焦良好（電子光學(xué)問題）

表現(xiàn)：圖像中央或整體模糊，不隨調(diào)焦變化改善。

解決方法：

調(diào)整束斑大?。╯pot size）；

如果設(shè)備支持，進(jìn)行“聚焦校正”或“束斑調(diào)整”；

檢查電子槍是否需要更換或維護(hù)。

4. 加速電壓選擇不當(dāng)

表現(xiàn)：圖像發(fā)虛、對比度差，尤其在非導(dǎo)體樣品上更明顯。

解決方法：

對導(dǎo)體樣品可適當(dāng)提高加速電壓（如10–20?kV）；

對非導(dǎo)體樣品建議使用低電壓成像（如1–5?kV）以減少充電效應(yīng)；

多試不同電壓，找出圖像清晰時的工作條件。

5. 樣品表面帶電或不導(dǎo)電

表現(xiàn)：局部模糊、拖尾、閃爍等偽影。

解決方法：

為樣品鍍金、碳或鉑等導(dǎo)電膜；

確保樣品臺與樣品之間導(dǎo)電良好；

使用低真空模式（如LowVac或VP模式）抑制充電。

6. 過度放大超過儀器分辨極限

表現(xiàn)：放大后圖像看似模糊，其實是設(shè)備分辨率限制。

解決方法：

避免“數(shù)字放大”（Digital Zoom），應(yīng)使用光學(xué)/系統(tǒng)原生放大；

檢查SEM說明書中分辨率極限，不建議超過其倍率；

若需更高分辨率，應(yīng)使用場發(fā)射SEM（FE-SEM）。

7. 像差未校正（Stigmation）

表現(xiàn)：圖像出現(xiàn)拉伸、橢圓模糊，特別在高倍率下更嚴(yán)重。

解決方法：

使用SEM控制界面中的“Stigmator”功能進(jìn)行圖像矯正；

通常需在每次對焦或切換放大倍率后重新調(diào)整。

建議的調(diào)試流程（順序）

降低倍率，初步對焦

逐步放大，每一級放大后重新對焦與像差校正

調(diào)整加速電壓與束斑大小

檢查樣品是否穩(wěn)定并良好導(dǎo)電

使用慢掃描模式獲取高清圖像

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡圖像放大后出現(xiàn)模糊怎么辦。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢