在掃描電鏡（SEM）拍照時，要獲得清晰對焦的圖像，你需要合理調(diào)節(jié)一系列參數(shù)與操作流程。以下是對焦更清晰的實用技巧與步驟：

一、操作步驟：如何快速正確對焦

1. 選擇高對比區(qū)域或邊緣特征進行對焦

找一個有清晰邊緣、紋理或納米結(jié)構(gòu)的區(qū)域來對焦；

平坦無特征的區(qū)域不容易對準焦點。

2. 使用“粗調(diào) + 細調(diào)”結(jié)合的方式

先在較低倍率（比如 500×）下進行粗對焦；

然后切換到更高倍率（5000×、10000×）進行精細對焦；

記得：焦距在不同倍率下略有不同，建議逐級對焦。

3. 使用“Wobble”功能輔助對焦（如果支持）

Wobble 是交替振蕩束流位置，用于優(yōu)化“消像散”（Stigmator）時使用；

可邊觀察圖像抖動邊調(diào)整以獲得銳利焦點。

二、關(guān)鍵參數(shù)調(diào)整技巧

4. 調(diào)整工作距離（WD, Working Distance）

通常WD 越短，景深越小，分辨率越高，成像更清晰；

 WD 范圍：4~10 mm（具體依機型和探頭而定）；

但注意太近會讓樣品表面易受電荷積聚影響。

5. 調(diào)節(jié)束流電流（Beam Current）

高束流有利于提高信噪比，清晰度更高；

但高電流也會引入樣品損傷或模糊邊緣，要平衡設(shè)置；

常用調(diào)節(jié)范圍：幾十 pA 到幾 nA。

6. 適當使用聚焦調(diào)節(jié)（Focus）和像散校正（Stigmator）

使用 X/Y stigmator 調(diào)節(jié)消除圖像拉伸或模糊；

特別是在高倍率（>10,000×）下對焦后，需再調(diào) stigmator。

三、圖像穩(wěn)定與降噪建議

7. 等待熱漂移穩(wěn)定

開機后預熱 20~30 分鐘；

電鏡溫度穩(wěn)定后成像更清晰，不容易漂移；

8. 使用慢速掃描提高成像清晰度

慢掃描減少掃描噪聲；

如果圖像模糊不清，可選擇中等幀率 + 多幀疊加平均；

四、樣品準備對成像清晰度的影響

9. 樣品表面盡量平整、導電

凹凸不平或絕緣樣品易產(chǎn)生偽影或充電模糊；

噴金、噴碳或蒸鍍薄層金屬膜有助于成像清晰。

10. 樣品安裝要牢固，避免震動

樣品若晃動，即便對焦也會圖像模糊；

建議使用碳膠、導電膠、銀漿牢固粘貼。