操作掃描電鏡（SEM）時(shí)，為了避免樣品的損壞和失真，需要采取一些具體的措施來(lái)確保成像質(zhì)量的同時(shí)保護(hù)樣品。以下是避免樣品損壞和失真的一些常見(jiàn)方法：

一、適當(dāng)選擇加速電壓

加速電壓的影響：

加速電壓過(guò)高會(huì)導(dǎo)致樣品表面過(guò)度激發(fā)，從而可能導(dǎo)致?lián)p壞或失真。

一般來(lái)說(shuō)，選擇較低的加速電壓有助于減少樣品的損傷，尤其是在觀察脆弱的生物樣品或薄膜時(shí)。

合適的加速電壓：

生物樣品、有機(jī)材料等應(yīng)使用較低的加速電壓（一般為5-10 kV）。

金屬材料、半導(dǎo)體等較堅(jiān)硬的樣品可以使用較高的加速電壓（10-30 kV），以提高分辨率。

減少電子束的束流：

在掃描電鏡的操作中，適當(dāng)降低電子束的束流可以減小樣品表面受到的電荷積累，從而減少損傷。

二、控制電子束曝光時(shí)間

避免過(guò)度曝光：

過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的電子束照射會(huì)加劇樣品表面的熱效應(yīng)，導(dǎo)致樣品燒毀或表面變形。

在掃描過(guò)程中，應(yīng)定期調(diào)整掃描時(shí)間和曝光時(shí)間，確保它們盡可能短，以減少對(duì)樣品的損害。

避免過(guò)度聚焦：

使用電子束時(shí)，要避免過(guò)度聚焦在單一位置上。長(zhǎng)時(shí)間的集中能量會(huì)導(dǎo)致局部過(guò)熱，從而損壞樣品。

三、選擇合適的工作距離（WD）

影響掃描的深度和清晰度：

工作距離是樣品和掃描電鏡探測(cè)器之間的距離，選擇適當(dāng)?shù)墓ぷ骶嚯x能有效減少樣品表面與電子束接觸的強(qiáng)度。

較短的工作距離有助于提高分辨率，但可能導(dǎo)致樣品受到較大的熱損傷或其他影響。

適度調(diào)整工作距離：

根據(jù)樣品的性質(zhì)和所需的分辨率，適當(dāng)選擇較長(zhǎng)的工作距離（WD一般在5-20 mm之間），以減少樣品的損傷。

四、適當(dāng)?shù)臉悠分苽?/span>

表面處理：

對(duì)于非導(dǎo)電樣品，尤其是生物樣品、聚合物、薄膜等，需要進(jìn)行金屬涂層（如金、鉑等）處理，以確保其導(dǎo)電性。

使用薄層涂層，避免過(guò)度覆蓋樣品，以免改變樣品的表面特征。

樣品的固定和夾持：

確保樣品在樣品臺(tái)上的固定良好，避免在高電壓下由于樣品晃動(dòng)導(dǎo)致位置偏移或成像失真。

使用合適的夾持裝置，防止樣品受力變形或破損。

選擇合適的樣品厚度：

樣品不宜過(guò)厚，厚度過(guò)大會(huì)影響電子束的穿透，甚至引起不均勻的能量沉積。

五、控制真空環(huán)境

樣品的脫氣處理：

在高真空條件下，非導(dǎo)電樣品可能會(huì)因電子束激發(fā)導(dǎo)致表面電荷積累，從而使圖像失真。為了避免此問(wèn)題，可以通過(guò)低真空模式或者涂層來(lái)解決。

避免水分和污染物：

樣品應(yīng)保持干燥，避免因水分蒸發(fā)或污染物沉積導(dǎo)致表面特征失真。

操作時(shí)，保持環(huán)境干凈，減少空氣中的塵土和水分對(duì)樣品的影響。

六、控制溫度和電荷積累

避免過(guò)熱：

樣品可能會(huì)因電子束的高能量而產(chǎn)生局部過(guò)熱，導(dǎo)致表面特征喪失。為了減少這種現(xiàn)象，可以使用低束流或低加速電壓來(lái)降低熱效應(yīng)。

電荷積累問(wèn)題：

非導(dǎo)電樣品容易在掃描過(guò)程中積累電荷，導(dǎo)致成像失真。解決辦法包括：

為樣品涂上一層導(dǎo)電性金屬薄膜；

使用低真空模式；

使用電子束中和器。

七、監(jiān)控樣品表面和調(diào)整探測(cè)器設(shè)置

定期監(jiān)控成像質(zhì)量：

在掃描過(guò)程中，經(jīng)常檢查成像結(jié)果，確保沒(méi)有出現(xiàn)樣品表面損壞或失真。如果圖像出現(xiàn)不清晰或失真的現(xiàn)象，及時(shí)調(diào)整掃描參數(shù)。

調(diào)整探測(cè)器位置和增益：

合理設(shè)置探測(cè)器增益和位置，以確保圖像信號(hào)的強(qiáng)度適中，避免因探測(cè)器設(shè)定不當(dāng)造成的圖像失真。