掃描電鏡（SEM）成像模糊很大可能是焦距沒有調(diào)好。成像模糊的成因通常可以分為對(duì)焦問題、樣品問題、參數(shù)設(shè)置問題和機(jī)械或電子系統(tǒng)問題。下面是詳細(xì)分析：

一、常見原因：焦距沒有調(diào)好（未聚焦）

表現(xiàn)：

圖像整體發(fā)虛，邊緣輪廓不清；

放大倍率越高越模糊；

對(duì)焦時(shí)圖像波動(dòng)劇烈。

解決方法：

在低倍時(shí)先調(diào)節(jié)“Z軸”或工作距離（WD），讓樣品表面接近焦平面；

再用“Focus（聚焦）”旋鈕精細(xì)調(diào)節(jié)焦點(diǎn)；

逐步放大倍率，邊放大邊繼續(xù)微調(diào)焦距；

如有“Auto Focus”功能可嘗試自動(dòng)對(duì)焦后微調(diào)。

二、樣品未置于焦點(diǎn)面上（Z軸高度不當(dāng)）

SEM 中成像清晰通常要求樣品表面位于設(shè)定的工作距離（如 10 mm）；

如果樣品太高或太低，焦距會(huì)偏離，導(dǎo)致圖像模糊。

建議：

調(diào)整樣品高度或平臺(tái) Z 軸，確保目標(biāo)區(qū)域位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)；

高倍率時(shí)尤其要嚴(yán)格控制焦平面。

三、樣品移動(dòng)、漂移或帶電

漂移或抖動(dòng)會(huì)使圖像產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)模糊；

帶電會(huì)導(dǎo)致圖像晃動(dòng)、跳動(dòng)或模糊；

常發(fā)生在非導(dǎo)電樣品未噴金處理時(shí)。

應(yīng)對(duì)方法：

檢查樣品固定是否牢固；

提高導(dǎo)電性（噴金、噴碳、導(dǎo)電膠）；

使用低電壓成像或低真空模式減輕充電效應(yīng)。

四、電子束參數(shù)設(shè)置不當(dāng)

束斑過大或光斑未收斂，會(huì)讓圖像發(fā)虛；

探測(cè)器增益過高或?qū)Ρ榷冗^低也會(huì)讓圖像顯得模糊不清。

建議：

減小束斑尺寸；

調(diào)整聚光器強(qiáng)度（Condenser lens）；

設(shè)置合適的亮度、對(duì)比度、掃描速度。

五、放大倍率太高、分辨率超限

有些樣品本身細(xì)節(jié)不足，或 SEM 本身分辨率有限；

在超出成像極限時(shí)強(qiáng)行放大，會(huì)出現(xiàn)“虛假模糊”。

解決：

降低倍率觀察；

更換高分辨率模式或高分辨率樣品（如噴金后再觀察）；