掃描電鏡圖像出現(xiàn)邊緣失真，主要是因?yàn)殡娮邮趻呙璺秶吘墔^(qū)域時(shí)受到磁場(chǎng)畸變、透鏡像差或樣品傾斜等因素的影響，使得邊緣放大率或分辨率降低。為了減少或避免這種邊緣失真，可以從以下幾個(gè)方面著手：

首先，要優(yōu)化聚焦和像場(chǎng)校正。在調(diào)焦時(shí)不要只在圖像中心進(jìn)行，而應(yīng)在邊緣區(qū)域也檢查清晰度。通過(guò)調(diào)整消像散（stigmator）可以校正束斑的橢圓畸變，使邊緣與中心區(qū)域的分辨率一致。若儀器帶有像場(chǎng)校正功能，應(yīng)在高放大下反復(fù)調(diào)整，使全視場(chǎng)成像均勻。

其次，控制樣品的安裝角度與位置。樣品應(yīng)盡量保持平整、水平，且中心位于電子束光軸上。如果樣品傾斜過(guò)大或高度不一致，會(huì)導(dǎo)致掃描面與束軸不垂直，使圖像邊緣產(chǎn)生拉伸、壓縮等幾何畸變。對(duì)于大樣品，應(yīng)盡量選擇中間區(qū)域成像。

第三，減少掃描范圍與畸變累積。在成像時(shí)避免使用過(guò)大的放大范圍或掃描幅度，尤其是在較低工作距離下。適當(dāng)增大工作距離，可以讓電子束在掃描邊緣時(shí)的入射角變化更小，從而改善邊緣成像一致性。

第四，檢查透鏡參數(shù)與系統(tǒng)穩(wěn)定性。若物鏡電流不穩(wěn)定、真空波動(dòng)或電子槍發(fā)射不均，都會(huì)使電子束軌跡發(fā)生輕微漂移。應(yīng)在設(shè)備充分預(yù)熱、真空穩(wěn)定后成像，并定期進(jìn)行電子光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)。

不同型號(hào)與品牌的掃描電鏡在像場(chǎng)校正方式、光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)及掃描控制算法上存在差異，因此在調(diào)節(jié)過(guò)程中應(yīng)參照設(shè)備說(shuō)明書或廠商提供的操作指南，結(jié)合具體機(jī)型特點(diǎn)進(jìn)行優(yōu)化，以獲得全視場(chǎng)高質(zhì)量圖像。