在掃描電鏡進(jìn)行長時(shí)間掃描時(shí)，如果圖像噪聲明顯升高，通常與束流不穩(wěn)定、探測器受干擾或樣品充電有關(guān)。通過優(yōu)化掃描參數(shù)和成像環(huán)境，可以顯著降低噪聲，提升圖像質(zhì)量。

掃描電鏡長時(shí)間掃描噪聲大的解決方法

提高束流穩(wěn)定性

適當(dāng)增大探針電流，提高信號(hào)強(qiáng)度。

若電子槍不穩(wěn)定，可重新預(yù)熱、穩(wěn)定燈絲或檢查發(fā)射電源。

降低掃描速率但避免過度長時(shí)間曝光

設(shè)置為 Slow Scan 或 Frame Integration（多幀平均）。

多幀平均比單幀長曝光更能降低噪聲且減少漂移影響。

優(yōu)化探測器設(shè)置

調(diào)整 SE/BSE 探頭增益與偏置，避免增益過高引入電子噪聲。

清潔或檢查探測器是否松動(dòng)、污染或信號(hào)線接觸不良。

減少樣品充電

降低加速電壓或加大工作距離。

對(duì)絕緣樣品噴金、噴碳或使用低真空模式。

檢查環(huán)境穩(wěn)定性

避免機(jī)房溫度波動(dòng)、振動(dòng)、電磁干擾。

遠(yuǎn)離大功率設(shè)備或突然啟停的機(jī)械。