原位MEMS-TEM-STM多場測量系統(tǒng)（非定量力+電+光+加熱）是原位透射電子顯微鏡實驗系統(tǒng)，使研究者可以在透射電子顯微鏡中構(gòu)建一個可控的多場環(huán)境（包括力，熱，光，電等），從而對材料或者器件等樣品實現(xiàn)多重激勵下的原位表征。

光纖指標

●多模光纖外徑250um，保證電鏡系統(tǒng)真空指標;

●可選光纖探針、平頭光纖;

●配備快速SMA接頭、FC接頭。

加熱指標

●溫度控制范圍：室溫至1000℃；

●溫度準確度：優(yōu)于5%；

●溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1℃。

產(chǎn)品特色

●可通過簡單更換MEMS芯片種類以及不同STM探針為樣品施加四種激勵，實現(xiàn)多種復雜的測試功能，完成以往無法實現(xiàn)的研究；

●高溫拉伸/壓縮 (加熱芯片+電學STM探針) ;

●熱電子發(fā)射/場發(fā)射 (加熱芯片+電學STM探針) ;

●三端器件測量 (電學芯片+電學STM探針) ;

●電致發(fā)光現(xiàn)象研究 (電學芯片+光學STM探針) ;

●光電現(xiàn)象研究 (電學芯片+光學STM探針) ；

●穩(wěn)定性高：輕松獲得大幅度運動中的高分辨像，適用于更廣泛的應用場景和樣品體系；

●很長的壽命：專利技術(shù)（專利種類：實用新型（具備高分辨多維操縱和電學測量的電子顯微鏡原位樣品桿） 專利號：202020944865 .4）的“爪-球”結(jié)構(gòu)探針桿因其獨特的結(jié)構(gòu)設(shè)計，是公認皮實耐用的探針桿；

●很低維護成本：設(shè)備配套的針尖制備系統(tǒng)可低成本制備針尖耗材?！弊?球“微動結(jié)構(gòu)已實現(xiàn)模塊化量產(chǎn)，維護成本低；

●很大的用戶群：在國內(nèi)擁有近200個高質(zhì)量原位用戶，出口到歐美澳等地。每年，用戶會產(chǎn)出大量高質(zhì)量研究成果。定期組織各類用戶交流活動，搭建學術(shù)平臺供用戶交流；

●成熟的技術(shù)支持網(wǎng)絡：在安徽、北京、東莞和上海擁有分公司，其他各地擁有若干技術(shù)支持網(wǎng)點，24小時提供技術(shù)支持。

應用領(lǐng)域