如何在掃描電鏡中實現(xiàn)斷層掃描與深度成像

在掃描電子顯微鏡（SEM）中，實現(xiàn)斷層掃描（Tomographic Scanning）與深度成像（Depth Imaging）并非傳統(tǒng)SEM的標(biāo)準(zhǔn)功能。

如何判斷掃描電鏡圖像是否失真或充電？

判斷掃描電鏡（SEM）圖像是否出現(xiàn)失真或充電效應(yīng)，主要可以通過觀察圖像特征、了解樣品性質(zhì)和結(jié)合成像參數(shù)來判斷。

提高掃描電鏡（SEM）圖像的邊緣清晰度，本質(zhì)上是提升圖像的分辨率和信噪比，減少拖影、模糊和偽影，讓細(xì)節(jié)邊緣更銳利。

掃描電鏡（SEM）圖像原始輸出通常是灰度圖像，因為它們反映的是電子信號強度（如二次電子、背散射電子等），不具備天然色彩。

在掃描電鏡（SEM）中實現(xiàn)局部放大，即放大樣品上某一特定區(qū)域，通常用于觀察細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)或缺陷特征，可以通過以下幾種方式實現(xiàn)：

掃描電鏡（SEM）中的圖像生成過程是通過電子束與樣品的相互作用來獲取樣品表面信息的。

操作掃描電鏡（SEM）時，為了避免樣品的損壞和失真，需要采取一些具體的措施來確保成像質(zhì)量的同時保護樣品。

如果在用掃描電鏡（SEM）時發(fā)現(xiàn)圖像有噪點或“發(fā)虛”，大致可以從以下幾個方向排查并改進：